热膜式空气流量计(1)基本原理热膜式空气流量传感器的工作原理与热线式空气流量传感器类似,所不同的是:热膜式不使用铂金丝作为热线,而是将热线电阻、补偿电阻及桥路电阻用厚膜工艺制作在同一陶瓷基片上构成的。这种结构可使发热体不直接承受空气流动所产生的作用力,增加了发热体的强度,提高了空气流量计的可靠性,误差小,成本较低,电阻值较高,消耗的电流小,可以做到小型、轻巧。信号输出电压在 0~5v 间线性变化。但热膜式发热元件的响应性稍差。2016 款丰田凯美瑞混合动力车系 6AR-FSE 发动机采用新型硅片式热模式空气流量传感器(HMF6),传感器内部集成数字处理电路使传感器输出更加精确。传感器结构如下图所示。空气流量传感器具有内置进气温度传感器。进气气流经过旁通管中硅片传感器的温度传感器(加热器前)、加热器、温度传感器(加热器后)。由于进气接触加热器时温度升高,因此进气流经温度传感器(加热器后)时的温度高于其流经温度传感器(加热器前)时的温度。 根据流经硅片传感器的进气速率,在各温度传感器的进气温度差不同。 温度传感器桥接电路检测温度差,且控制电路将其转化为脉冲信号并将其输出至 ECM。 温度传感器(加热器前)检测的温度高于温度传感器(加热器后)检测的温度时,判定进气回流。