问请教MEMS气体流量传感器的原理！

“十五”期间，中科院组织全院近20家研究所开展联合攻关。在重要传感器件方面，自主开发了mems(微机电系统)振动传感器、mems声响传感器、mems红外传感器、光纤传感器、声阵列传感器，形成了以mems传感器为主、复合多信息探测的小型化传感器系列。在系统层面，研制出了5个系列9种传感网端机、4个系列基站等原型样机，在低功耗、微型化等方面研究取得突破。在专用网络研究方面取得重大突破，利用研制的传感网设备可组成多种类型的传感网络，并成功实现了各种无线传感网络与公共网络、卫星网络的加密互联。同时，研制完成了无线传感网核心协议芯片。 另外，基于mems技术的生物微传感技术和生物芯片技术在生命科学研究、生物医学工程、医疗保健、食品加工、环境检测等领域有广阔的应用前景。

产品原理MEMS气体质量流量计采用具有自主知识产权的MEMS芯片作为传感器核心部件，当没有气体介质流过传感器芯片时，传感器周围保持稳定的温度场（温度分布）,当气体介质流过传感器芯片时，温度场因为流体介质带走热量导致局部温度重新分布。局部温度场的变化量取决于流体介质的质量及流速。集成在芯片上的传感器对此温度分布进行测量，通过校准，专门设计的信号处理电路和智能控制软件可精确测量实际的介质质量流量.

MEMS是热敏式的流量传感器，其工作原理如下：