问MEAS压力传感器

MEAS压力传感器： MEas压力传感器是基于 MEMS（微机电）技术，建立在微米/纳米基础上，在单晶硅片上刻融制作惠斯登电桥组成的硅应变计，这样制造的压力传感器具有输出灵敏度高，性能稳定，批量可靠性、重复性好等优点。下面从传感器的制作工艺、结构两方面分析一下MEMS压力传感器综合性能。 先进的制作工艺     经500℃以上高温熔化玻璃，将硅应变片烧结在17－4PH不锈钢传感弹性体上，弹性体受压变形后产生电信号，由带微处理器的数字补偿放大电路进行放大，经数字软件进行全智能温度补偿，输出标准信号。在标准净化生产过程中，参数严格受控，避免了温度、湿度及机械疲劳的影响，具有频响高、工作温度宽等特点，保证了传感器在工业恶劣环境中使用的长期稳定性。     智能数字温度补偿电路将温度变化划分为若干小区间，每一个小区间的零位和补偿值都被分别写入补偿电路中，在使用中，这些值被写入受温度影响的模拟量输出路径中，每一个温度点都是该变送器的“校准温度”。     传感器数字电路针对射频、电磁干扰、浪涌电压的工况进行精心设计，具有抗干扰能力强，供电范围宽、极性保护等特点。 可靠的结构     压力腔体采用进口17－4PH不锈钢整体加工，无"O"型圈、无焊缝，无泄漏隐患。传感器过载能力为200%FS，破坏压力为500%FS，适应高压力过载。针对液压系统可能产生的瞬间压力突变，传感器内置阻尼保护装置，能有效抵御瞬间压力冲击。     因此，MEMS压力传感器具有输出灵敏度高、性能稳定、体积小巧、环境适应性强、重复性好等综合性能，这也是它广泛应用于各领域的基本原因。 3 　压力传感器的发展趋势 当今世界各国压力传感器的研究领域十分广泛,几乎渗透到了各行各业,但归纳起来主要有以下几个趋势: (1) 小型化　目前市场对小型压力传感器的需求越来越大,这种小型传感器可以工作在极端恶劣的环境下,并且只需要很少的保养和维护,对周围的环境影响也很小,可 以放置在人体的各个重要器官中收集资料,不影响人的正常生活。如美国信息平台的功能主要是研究和传播环境保护法规和实施措施信息和技术,为制造商提供很多 重要信息,如:—EU 指令和相关法规;—进口国国家法规,特别是与EU 法规之间的差异;—进口国WEEE 回收体系;—与WEEE 和RoHS 相关的标准和检测方法;—进口国合格评定要求;—进口国行业组织的态度和实施要求;—危险物质替代的技术路线和动态;—符合要求的材料、元件和部件数据库 等; (2) 检测评价平台 检测平台主要功能是开展危险物质检测和评价研究,为制造商提供检测、评价和人员培训服务,为制造商自我符合声明提供技术支撑。通过检测评价平台 的建设节省实施指令的投入和提高专业的服务水准。建议以整合社会资源方式,由中介机构、制造商并争取政府的支持下共建,独立运作。Entran 公司生产的量程为2～500PSI 的传感器,直径仅为1. 27mm ,可以放置在人体的血管中而不会对血液的流通产生大的影响。 (2) 集成化　压力传感器已经越来越多的与其它测量用传感器集成以形成测量和控制系统。集成系统在过程控制和工厂自动化中可提高操作速度和效率。 (3) 智能化　由于集成化的出现,在集成电路中可添加一些微处理器,使得传感器具有自动补偿、通讯、自诊断、逻辑判断等功能。 (4) 广泛化　压力传感器的另一个发展趋势是正从机械行业向其它领域扩展,例如:汽车元件、医疗仪器和能源环境控制系统。 (5) 标准化　传感器的设计与制造已经形成了一定的行业标准。如ISO 国际质量体系;美国的AN2SI、ASTM标准、俄罗斯的ГOCT、日本的J IS 标准。 4 　结束语 随着硅、微机械加工技术、超大集成电路技术和材料制备与特性研究工作的进展,使得压力传感器在光纤传感器的批量生产、高温硅压阻及压电结传感器的应用成为可能,在生物医学、微型机械等领域,压力传感器有着广泛的应用前景。