MEMS可否取代光纤陀螺仪技术

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  • mems陀螺仪即硅微机电陀螺仪,绝大多数的mems陀螺仪依赖于相互正交的振动和转动引起的交变科里奥利力。mems (micro-electro-mechanical systems)是指集机械元素、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、接口电路、通信和电源于一体的完整微型机电系统。mems陀螺仪的特点: mems陀螺仪是利用 coriolis 定理,将旋转物体的角速度转换成与角速度成正比的直流电压信号,其核心部件通过掺杂技术、光刻技术、腐蚀技术、liga技术、封装技术等批量生产的,它主要特点是 1. 体积小、重量轻,其边长都小于 1mm,器件核心的重量仅为1.2mg。 2. 成本低 3. 可靠性好,工作寿命超过 10 万小时,能承受1000g 的冲击。 4. 测量范围大
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  • 不会的。光纤陀螺是继激光陀螺巨大的进步,属于两光陀螺,利用Sagnac效应,用光程差反算角速度,相比激光陀螺,体积小,成本低,精度可达千分之一,而且没有活动部件,可靠性高,获得了广泛的应用。目前国内主要是北航和浙大两大派系,从业者约30多家,技术已经开放,大多数精度也就十分之一的样子,产业链已经向中西部转移,民工都可以干。但相比MEMS还是非常的贵,而且近千米的光纤绕成一坨,温度系数、可靠性、抗冲击、长储都有问题,而且MEMS目前的精度已经是10和开环光纤相当,并且已经向1进发,所以在一些低端和短时应用非常考验光纤从业者的粗大神经,而且MEMS小体积重量,低成本,芯片批量化,高可靠性等优势非常明显,但MEMS的精度10年内进入0.1有点困难,因此,在0.1到千分之一都可以是光纤的天下,短时间取代不了的。
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