问先进制造技术中MEMS的含义？

EMS是微机电系统（Micro-Electro-Mechanical Systems）的英文缩写。是指可批量制作的，集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、直至接口、通信和电源等于一体的微型器件或系统。MEMS是随着半导体集成电路微细加工技术和超精密机械加工技术的发展而发展起来。