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问与MEMS技术相关的最新科技成果有哪些？
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IEEE中去检索吧。。。0 点赞
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你好！微加速度计、微陀螺、微磁场计、微压力传感器、微流量传感器、微麦克风等、微泵、微阀、微喷、微毛细管电泳仪、微光开关、RF-MEMS器件、微光谱仪、DNA芯片、微芯片PCR扩增仪、CE微型毛细管电泳仪等仅代表个人观点，不喜勿喷，谢谢。0 点赞
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最新的成果，去看老美的吧，中国没什么好东西，好像人家搞了一个片上系统，流行的局势是把微电子，光电子和MEMS结合在一起，SOP，SOC什么的，很玄乎的，成果，成果，嘿嘿，特色啊。0 点赞
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