硅压力传感器芯片的运用领域?及一些特色是什么?

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  • 被测介质的压力直接作用于传感器的膜片上(不锈钢或陶瓷),使膜片产生与介质压力成正比的微位移,使传感器的电阻值发生变化,应用电子线路检测这一变化,并转换输出一个对应于这一压力的标准测量信号(通常为电压信号)。 所谓的扩散硅,就是通过工艺技术处理的掺杂硅基。 虽然天天在用,但原理不太清楚。上述是我的理解,你自己找些有关书籍看看吧。
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  • 应用:1汽车轮胎压力监测 2发动机控制 3大气压力测量 4空压表 5手执压力计特色:①固态、MEMS技术、高可靠性 ②低成本、小尺寸 ③标准压力范围:0-100KPa; 0-700KPa ④非线性 < 0.20%FSO ⑤硅/硅键合芯片,稳定性好
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