问气体质量流量计的工作原理？

热式气体流量计采用热扩散原理，热扩散技术是一种在苛刻条件下性能优良、可靠性高的技术。其典型传感元件包括两个热电阻（铂RTD），一个是速度传感器，一个是自动补偿气体温度变化的温度传感器。当两个RTD被置于介质中时，其中速度传感器被加热到环境温度以上的一个恒定的温度，另一个温度传感器用于感应介质温度。流经速度传感器的气体质量流量是通过传感元件的热传递量来计算的。气体流速增加，介质带走的热量增多。使传感器温度随之降低。为了保持温度的恒定，则必须增加通过传感器的工作电流，此增加的部分电流大小与介质的流速成正比。

小流量气体质量流量计是自主研制的mems流量 传感芯片，其原理是利用流动气体传热传质的依存关系，在其上、下游产生温度变化而得到气 体的质量流量。 该流量计同时实现热源的产生与温度的测量。当芯片处于工作状态时，在传感器的周边形成 稳定的温度场分布。一旦一定质量的气体流过传感器时，气体的流动将破坏该温度场的分布， 形成特定的、取决于该气体的质量和速度的温度场分布。微机电系统流量计芯片上的传感器将 测量这一变化并把这一变化转换为电信号，由一个专门的电路变送器对此信号进行放大、调理 并作线性化处理。由于不同质量的气体对传感器的周边形成稳定的温度场分布所产生的扰动不 同，因而能测量气体的质量流量或总流量

原发布者:jakeyjoy质量流量计工作原理流体的体积是流体温度、压力和密度的函数。在工业生产和科学研究中，仅测量体积流量是不够的，由于产品质量控制、物料配比测定、成本核算以及生产过程自动调节等许多应用场合的需要，还必须了解流体的质量流量。质量流量计的测量方法，可分为间接测量和直接测量两类。间接式测量方法通过测量体积流量和流体密度经计算得出质量流量，这种方式又称为推导式；直接式测量方法则由检测元件直接检测出流体的质量流量。1．间接式质量流量计间接式质量流量测量方法，一般是采用体积流量计和密度计或两个不同类型的体积流量计组合，实现质量流量的测量。常见的组合方式主要有3种。（1）节流式流量计与密度计的组合由前述知，节流式流量计的差压信号正比于，如图1所示，密度计连续测量出流体的密度，将两仪表的输出信号送入运算器进行必要运算处理，即可求出质量流量为　　　　　　　　　　（1-1）靶式流量计的输出信号与也成正比关系，故同样可按上述方法与密度计组合构成质量流量计。密度计可采用同位素、超声波或振动管式等连续测量密度的仪表。图1　节流式流量计与密度计组合（2）体积流量计与密度计的组合如图2所示，容积式流量计或速度式流量计，如涡轮流量计、电磁流量计等，测得的输出信号与流体体积流量成正比，这类流量计与密度计组合，通过乘法运算，即可求出质量流量为　　　　　　　　　　　　　　　　（1-2）（3）体积流量