问质量流量计的工作原理谁知道啊？

小流量气体质量流量计是自主研制的mems流量 传感芯片，其原理是利用流动气体传热传质的依存关系，在其上、下游产生温度变化而得到气 体的质量流量。 该流量计同时实现热源的产生与温度的测量。当芯片处于工作状态时，在传感器的周边形成 稳定的温度场分布。一旦一定质量的气体流过传感器时，气体的流动将破坏该温度场的分布， 形成特定的、取决于该气体的质量和速度的温度场分布。微机电系统流量计芯片上的传感器将 测量这一变化并把这一变化转换为电信号，由一个专门的电路变送器对此信号进行放大、调理 并作线性化处理。由于不同质量的气体对传感器的周边形成稳定的温度场分布所产生的扰动不 同，因而能测量气体的质量流量或总流量

气体质量流量计：由于气体的体积会受温度、压力等参数的影响，用体积流量表示流量大小时需给出介质（温度、压力等）的参数。如果介质参数不断变化，会造检测失真。质量流量计就解决了这种难题。（气体通过的测量段内有两个热阻元件，其中一个检测温度，另一个作为加热器。这两个元件和流量计内的电路组成一个温控系统，该温控系统保持温度检测元件和加热器之间的温度值恒定。当气体流速增加，冷却效应越大，使须保持热电阻间恒温的电流也越大。此热传递正比于气体质量流量，即供给电流与气体质量流量有一对应的函数关系，来反映气体的流量。）考虑下行业里欧米茄的气体质量流量计吧。