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微机电系统（MEMS）是微电路和微机械按功能要求在芯片上的集成，尺寸通常在毫米或微米级，具有重量轻、功耗低、耐用性好、价格低廉等优点。自八十年代中后期崛起以来发展极其迅速，被认为是继微电子之后又一个对国民经济和军事具有重大影响的技术领域，将成为21世纪新的国民经济增长点和提高军事能力的重要技术途径。 一、MEMS的发展概况 目前，国外已制成的MEMS/微机械结构部件有阀门、弹簧、喷嘴、臂梁、齿轮、连接器、散热器、马达及各种传感器（如加速度表、陀螺、微型惯性测量组合）等。硅微压力传感器、微加速度计和微阀等已成为商品，具有与传统产品竞争的能力。如利用电子隧穿技术制造的微加速度计重6克，灵敏度10?－7g，完全能满足导航的要求；最近研制出的振动式微陀螺重100毫克,机械器件尺寸为1.2× 1.2×1.2厘米，偏置稳定度为1～10度/小时,功耗不到1瓦。 美国和日本的MEMS技术处于领先地位，并已开始获得市场效益。1996年，MEMS的市场份额为120亿美元，美国占60%（72亿美元），日本占27.5%（33亿美元），西欧占12.5%（15亿美元）。预计到2002年，MEMS的市场份额将增长到340亿美元，并将带动1万亿美元的相关市场。喷墨打印机喷嘴