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芬兰VTI倾角传感器的核心部件是什么?哪位大哥可以简单的可以的一下。
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平衡点0306
2025-08-13
你好!三轴加速度传感器。三个垂直方向上都有一个加速度传感器,通过和重力加速度形成的夹角来计算倾角角度。打字不易,采纳哦!
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常燕美
2025-08-13
倾角传感器的核心部分是微机械加速度传感器元件的对称电容块,它由三片相互被薄玻璃膜隔离的硅片组成。中间硅片是悬臂多射线式结构,在它上面的大的质量块,电容和弹性系数能独立的得到最佳结果。这正是在低g值量程内取得很好测量结果的原因。作用在硅片上的重力和加速的力量使单晶硅电射束振荡弯曲,这种偏差能被两金属膜为电极的电容之间的距离变化而测量出来。微机械片能使相对大的电容和电容变化容易的被检测出来。
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