声表面波SAW是在固体半空间表面存在的一种沿表面传播,能量集中于表面附近的弹性波。SAW传感器是电子技术与材料科学相结合的产物,它由SAW振荡器、敏感的界面膜材料和振荡电路组成。SAW 传感器的核心部件是SAW 振荡器,由压电材料基片和沉积在基片上不同功能的叉指换能器所组成,有延迟线型(DL型) 和谐振器型(R型) 两种。声表面波(SAW)技术是声学和电子学相结合而形成的一门新兴边缘学科。在该技术的基础上,现已经成功地研制出声表面波带通滤波器、振荡器、表面波卷积器和传感器等声表面波器件。由于声表面波器件具有体积小、可靠性高、一致性好以及设计灵活等优点,所以在雷达、通信等领域的研究得到了广泛的应用。把声表面波技术应用于传感器技术领域在近十年来得到了很大的发展。目前, 采用技术来研制力、加速度、温度、湿度、气体及电压等一系列新型传感器的工作逐渐成为传感器研究的一个热点。