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请介绍一下扩散硅原理(在压力传感器中)
#压力传感器#
#扩散硅压力变送器#
#谐振式压力传感器#
#微压力传感器#
#拉压力传感器#
全部回答1
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匿名用户
2025-01-30
能够用到硅材料的压力传感器应该是压阻式传感器,属于微型化的传感器。 压阻效应任何一本传感器书中都会有介绍,我就不多说了。 既然是压阻效应,就要在硅片上扩散电阻,也就是说在硅片上掺杂上别的材料,做出电阻来。一般来说P型电阻灵敏度高,必须将其扩散到N型衬底上。再详细点,就找本集成电路加工工艺的书。 说到应用,在汽车、医疗、军事上都有用的,象恩德福克公司、恩特兰公司、IC Sensors公司等,都在做这类的传感器。
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