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问差动电容式传感器的构造
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可以的。电容传感器分为单极性和双极性的。单极性例如zcs1100，需要有一个平整的背板，将薄膜放在传感器探头与背板之间来测薄膜厚度。双极性例如znxsensor，有正负两个电容极片，将薄膜放在两个极片之间来测厚度。但是具体的测量方式还需要非常多的详细步骤。0 点赞
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差动电容式传感器有几种：一种是通过改极板变相对面积的方式来敏感输入量，常制作成梳齿状极板；一种是通过改变极板间距来敏感输入量，可理解为在两块平行极板间插入一块活动极板的结构；一种是通过改变极板间介质的介电常数来敏感输入量的。0 点赞
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