电容式压力传感器的类型

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  • c=εs/4πkd 。 其中,ε是一个常数,s为电容极板的正对面积,d为电容极板的距离, k则是静电力常量。常见的平行板电容器,电容为c=εs/d.(ε为极板间介质的介电常数,s为极板面积,d为极板间的距离。) 注意:正对面积 固定电极面积不变,故s不变
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  • 它的受压膜片电极位于两个固定电极之间,构成两个电容器。在压力的作用下一个电容器的容量增大而另一个则相应减小,测量结果由差动式电路输出。它的固定电极是在凹曲的玻璃表面上镀金属层而制成。过载时膜片受到凹面的保护而不致破裂。差动电容式压力传感器比单电容式的灵敏度高、线性度好,但加工较困难(特别是难以保证对称性),而且不能实现对被测气体或液体的隔离,因此不宜于工作在有腐蚀性或杂质的流体中。
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