问磁控溅射镀膜之前要对试样进行怎样的预处理

你好！预处理的目的一是为了清洗干净，一般会用到化学清洗、水清洗、氮气吹干、等离子清洗等方法；另一个是为了活化表面，如加热、等离子轰击等有利于薄膜的附着。仅代表个人观点，不喜勿喷，谢谢。

没什么大的要求，就是靶材要洁净，不能有异物。

试样的预处理很重要，直接关系到镀膜的结合强度和膜层质量，首先你要溅射镀膜的试样材料不同，清洗方式也就不同。如果你的试样是金属基片，大多数用丙酮酒精或其他化学试剂超声清洗，再用去离子水超声清洗，最后通过氮气吹干或者烘箱烘干，如果你的试样是普通载玻片，可用去污粉进行刷洗，直至形成完整水膜后用热去离子水超声清洗，在吹干。