问PLC主要用在磁控溅射真空镀膜的那些方面

你好！不太了解你说的设备，但是可以告诉你 测真空度可以用绝压变送器，或者差压变送器。仅代表个人观点，不喜勿喷，谢谢。

plc在真空镀膜机主要用与控制转机流程与反应气量！测真空用的是真空气压计谓的磁控溅射，只是镀膜电源与磁场靶材工作称呼！

要用到PLC模拟量模块；真空度用什么测就不知道了

这可是我的强项，嘿嘿。真空、流量、泵和压缩机的启停、配方、菜单的处理都可以使用PLC，内部的数据运算等也可以由PLC来进行，也可以说，几乎所有的控制都能由PLC来实现的。而你问的真空度测量问题，我一般是用一个宽量程规和一个pinari规来采集，然后将采集到的信号交由PLC和触摸屏或电脑去进行处理。流量什么的也类似，由流量计负责采集信号，再交由PLC等去处理。