问磁控溅射镀膜机导致不均匀因素哪些

肇庆振华真空机械有限公司专业研发生产各类真空镀膜设备！详情请咨询0755-26500053； 多弧磁控镀膜机的使用与维护详尽的说明太长，简单的归纳：1、打开真空控制电源开关； 2、开维持泵对扩散泵抽低真空，并测量前级真空度；3、待前级压力达到5pa后，开扩散泵加热；4、开充气阀，对镀膜室充气，打开镀膜室门，装好清洗干净的工件，关好炉门。5、待扩散泵正常工作一小时后，开机械泵开预抽阀，对真空室手抽真空至10 3pa，然后开罗茨泵。6、当压力达到3pa后，关预抽阀，开前级阀。开高真阀，对镀膜室抽高真空。7、当真空室压力达到工作真空度后开工作旋转，并开加热至设定值。8、开始镀膜操作程序。9、镀膜操作程序结束；10、降炉温至100度以下，打开充气阀开炉门取出工件，每一炉使用之前对炉内进行清洁。11、一个工作周期后，要用吸尘器把镀膜室内的粉尘吸干净，避免短路或污染真空系统。12、经过一段时间要取下档板进行清洗。13、购买振华真空镀膜机，我司会培训操作和维修员工。

原理上讲，两点：气场和磁场磁控溅射在0.4Pa的气压情况下离子撞击靶材，溅射出粒子沉积到基材上，整体靶材的电压几乎一致，不影响溅射速率。0.4Pa的气场情况是溅射速率最高的情况，气场变化，压强变大和变小都会影响溅射速率。磁场大，束缚的自由电子增多，溅射速率增大，磁场小，束缚的自由电子就少，溅射速率降低。稳定住气场和磁场，溅射速率也将随之稳定。在实际情况下，气场稳定，1. 需要设计布气系统，最好将布气系统分级布置，保障镀膜机腔体内不同位置的进气量相同，同时，布气系统、靶材、基材等要远离镀膜机的抽气口。2. 需要稳定磁场，用高斯计测量靶材表面磁场强度，由于磁场线本身是闭合曲线，靶材磁场回路两端磁场强度自然比中间位置强，可以选择用弱磁铁，同时，基材要避开无法调整的磁场变化较大的部分。另外，在设备结构设计方面，磁控溅射过程中，需要基材与靶材保持同轴，如果旋转、直线运行的话，也要同轴旋转、直线运行，保障沉积到