请教关于磁控溅射镀膜和电子束镀膜的区别

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  • 一般蒸镀慢,附着力和致密性较溅镀差,颗粒尺寸较小,均匀性就看设备怎样了
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  • 这两个虽然都属于PVD,实际区别太大了,几乎没法比较,均匀性溅镀好,致密性溅镀好,沉积速率貌似是蒸镀高,具体建议楼主找相关书籍阅读。
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