问磁控溅射镀膜 膜面放电问题

南玻的？幸会。。。膜面放电属于常见问题，其原因是等离子体导电现象严重，放点区域较大。根据磁控溅射镀膜情况可以分为：1.基体距离靶材较近，（此类情况基本可以排除，一般来说距离超过15厘米就没有多大问题）2.放点区域距离靶材较远，表现为磁场强度较小，电压偏高。在此类情况下如果提高溅射气压可以解决。3.靶、真空室、基体不洁净，具有尖端放电存在。4.反应气体较多，溅射气体较少，表现为电压偏低。说得可能太笼统，你看是否有帮助，如果不行的话，把实际情况表述下再结合实际情况分析。