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问磁控溅镀对控制表面粗化的方法
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还有广西华锡集团股份有限公司的子公司 柳州华锡铟材料有限责任公司 ，具有资源优势，铟储量居世界第一，2001年开始生产ito靶材，是国内最早生产ito靶材的厂家。去年投入巨资引进国外先进技术和设备使用常压烧结法生产高性能ito靶材，目前已经量产。0 点赞
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控制粗糙度可以降低生长速度，用低功率或者增加靶与基片的距离，或者增大溅射气压，要把背底真空度抽的高一点，背底真空越小膜的质量越好0 点赞
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