问先进的磁控溅射镀膜设备镀膜的最薄厚度是多少？？

我们北京燕京电子有限公司 美国angstrom sun technologies公司总代理，美国angstrom sun technologies公司是一家专注于薄膜分析专业公司，产品线覆盖光谱反射测厚仪，光谱椭偏仪，显微薄膜分析设备，在线分析设备等，可以提供多层薄膜厚度，反射光谱，透射光谱，光学参数（n,k),薄膜表面粗糙度以及其他的物理，化学，光学性能的测试。产品客户覆盖平板显示，光伏太阳能，半导体等领域。

我不知道您实际使用的是莱宝什么型号的设备，镀6nm是可以实现，但是需要注意控制好挡板的开关，尽量快速。同时保持好膜料的一致性，放低蒸发速率，比如0.15nm/s。真空的控制也很重要，但是现在一般都是采用apc控制，这点不算太难。反正一句话，参与蒸发的工艺条件都尽可能的保持一致，这样可以得到较好的重复性。