磁控溅射圆柱靶材,靶材的壁厚对镀膜有影响吗?

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  • 磁控溅射?它的靶材不该是个厚片(5~6mm)吗? 圆柱形? 如果就是一般用的磁控溅射靶材,应该是没有影响,只要保证在溅射过程中不露底就成。当然什么时候露底取决于你的溅射速率。 不锈钢靶没用过。 钛靶+(Ar+N2)--->TiN(金黄色),辉光颜色略微偏红
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