问阴极溅射与磁控溅射又什么区别与联系

阴极溅射是磁控溅射的一种

阴极溅射是磁控溅射的一种再看看别人怎么说的。

磁控溅射是阴极溅射的一种吧，是利用阴极溅射的原理进行镀膜。磁控溅射是在二极溅射的基础上，在靶材后面放置磁钢。在与靶阴极电场垂直的方向加一横向的磁场。靶面前的电子受到电磁场洛伦兹力的作用，在靶面附近做螺旋运动，增加碰撞几率。它克服了阴极溅射速率低和由于电子轰击使基片温度升高的致命弱点。因此磁控溅射技术得到了迅速的发展和广泛的应用。