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磁控溅射可以制备有毒物质薄膜么
#磁控溅射镀膜#
#磁控健身车#
#压电薄膜传感器#
#电子信息产品中有毒有害物质的限量要求#
#反物质发动机#
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老胡子
2025-08-20
没看懂什么意思?
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shuaige
2025-08-20
PVD(物理气象沉积),用活泼金属靶(Al)、CVD(化学气象沉积)一般磁控溅射方法制备绝缘材料的薄膜有两种方法,靶材容易破裂。 化学气象沉积,溅射功率高。 物理气象沉积,用陶瓷靶(绝缘靶)溅射,缺点是溅射速率慢
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