问什么叫中频磁控溅射

经公司技术人员多年专注研发，通过特有的阴极电弧离子和非平衡磁控系统，并开发出整套propower系列计算机自动控制系统，使镀膜膜层附着力致密度、从复度一致性好等特点，解决了人工手动操作复杂性、膜层颜色不一致等问题。广泛适用于手表、手机壳、五金、洁具、餐具及要求耐磨起硬的刀具、模具等。镀制tin、ticn、crn、tialn、ticrn、zrn、tinc及各类金属石膜（dlc）。卧式镀膜机　　1、磁控溅射的原理是基于阴极辉光放电理论，把阴极表面磁场扩展到接近工件表面，提高了溅射原子离化率。既保留磁控溅射的细腻又增强了表面光泽度。真空离子清洗机　　2、电弧等离子体蒸发源性能可靠，在优化阴极及磁场结构镀膜时可在30a电流下工作，镀膜膜层和基底界面产生原子扩散，又具有离子束辅助沉积的特点。汽车镀膜设备

在中频反应溅射中，当靶上所加的电压处于负半周时，靶面被正离子溅射；而在正半周时，等离子体中的电子被加速到靶面，中和了靶面上积累的正电荷，从而抑制了打火。但在确定的工作场强下，频率越高，等离子体中正离子被加速的时间越短，正电场从外电场吸收的能量越少，轰击靶的正离子能量越低，靶的溅射速率也降低。由于溅射电压的频率范围处于10~80KHz范围，因此又叫中频溅射'] 中频溅射常用于溅射两个靶，通常为并排的两个靶，尺寸和外形全部相同，因此这两个靶常称为孪生靶。孪生靶在溅射室中悬浮安装，在溅射过程中，两个靶周期性轮流作为阴极与阳极，既抑制了打火，而且由于消除了普通直流反应磁控溅射中的阳极消失现象，从而使溅射过程得以稳定进行。