直流磁控溅射铝膜时,已经溅射了两个样品了,在溅射第三个样品几分钟后,电压突然降为零但是有电流,

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  • 只要不起辉就表明放电已经终止了,此时再调电压电流没有任何意义,电流的读数也是虚的。可操作方案:1. 重启靶电源;2. 停机开腔检查靶材及靶源情况。望采纳!
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  • 只要不起辉就表明放电已经终止了,此时再调电压电流没有任何意义,电流的读数也是虚的。可操作方案:1. 重启靶电源;2. 停机开腔检查靶材及靶源情况。望采纳!
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