磁控溅射中各路大神们都在用什么方法测量膜厚,要求精确度在10nm左右

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  • 如果透光,可以用椭偏仪,如果是在硬基体上,还可以用台阶仪。
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  • 你好!TEM看截面就可以仅代表个人观点,不喜勿喷,谢谢。
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  • 一般使用台阶仪,需要制作掩膜,或者使用油性笔画线,镀膜结束后洗掉线。一般的台阶仪精度极限在50nm左右,小于这个的厚度的薄膜可以使用椭偏仪。但是需要知道镀膜的材料。
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