问磁控溅射使用在哪些领域里

如何区分 金属溅射 磁控金属金属膜是采用磁控溅射技术的。磁控溅射膜主要利用辉光放电(glow

大面积玻璃镀膜领域：low-e 玻璃，阳光控制玻璃，汽车玻璃，太阳能电池；半导体，电子镀膜领域：MEMS，电子元器件，LED，LCD等；磁盘，硬盘镀膜领域：铁磁性膜；装饰镀膜领域：表壳、手机壳、笔记本外壳，和饰品等；不同膜层（膜系）可调制多种颜色。此外，还有太阳能集热管等，工具、模具、刀具镀膜领域也有用，效果不如多弧离子镀。

广义上讲 半导体领域的高阶工艺都有机会用到 如 集成电路芯片制造 MEMS 高端二极体芯片制造等等领域 早期的工艺则用热蒸发或者电子束蒸发成膜 随着半导体工艺线宽的不断变小以及对成膜均一性，台阶覆盖的要求的不断提高 磁控溅射逐渐取代了蒸发成膜工艺