问求助:什么耙材和气体磁控溅射

没看懂什么意思？

如铝、铜、不锈钢、钛、镍靶、硅等，就是高速荷能粒子轰击的目标材料。镀膜是用到的成膜材料。气体磁控溅射就是磁控溅射，工作时需要气体Ar，在低气压下进行高速溅射，必须有效地提高气体的离化率。通过在靶阴极表面引入磁场，利用磁场对带电粒子的约束来提高等离子体密度以增加溅射率的方法。磁控溅射需要工作气体Ar，有时需要反应气体氧气等。一般零点几帕左右。以上！