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问真空磁控镀膜的温度对基板与工艺有什么作用
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不明白啊 = =！0 点赞
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温度？你加热了吗？还是说溅射产生的温度？加热和溅射产生的温度都会让基板升温，对工艺来讲的话，需要就加热，不需要刻意不加热。但溅射肯定是会产生温度的，多少温度那就看具体情况了，这个是避免不了的。影响的话，就看基板是否承受的了，一般来讲是会有利于膜层的附着力和致密性。0 点赞
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