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问请问激光位移传感器属于哪一类检测设备？
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像真尚有copy的传感器zlds100。采用比色法、干涉条纹法以及椭偏术等测量各种透bai明薄膜；采用磨角染色法、层错法、红外光反射法以及背散射技术等检验外延du层厚度、扩散层和离子注zhi入层的深度；采用间接干涉法和台阶仪等测量金dao属膜和多晶硅的厚度等。0 点赞
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激光位移传感器属于激光检测设备，适用于位移检测，像真尚有zlds113激光位移，不仅高精度，而且测量稳定。0 点赞
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可以说是光学检测设备，非接触式的。也可以分为位移传感和测距传感器等，其中测距的比较有代表性的是LDM30x和LDM4x、ZDM。0 点赞
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