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问关于电容式传感器
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可以的。电容传感器分为单极性和双极性的。单极性例如zcs1100，需要有一个平整的背板，将薄膜放在传感器探头与背板之间来测薄膜厚度。双极性例如znxsensor，有正负两个电容极片，将薄膜放在两个极片之间来测厚度。但是具体的测量方式还需要非常多的详细步骤。0 点赞
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容栅传感器就是在变面积型电容传感器的基础上发展成的，是在光栅、磁栅、同步感应器之后出现的一种新型大位移传感器。而且变面积式的传感器一般用来测量角度，通过改变两极板的正对面积来改变电容值。详细的信息可以到万方数据库里下载专业的论文来看。 希望能对你有所帮助。0 点赞
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