电容传感器的特点:电容量小,变化更小(pf级)。理论上,交流电桥可作为电容传感器的测量电路,但由于电容及变化太小,不易实现。包括(1)调频电路(2)运算放大器式电路(3)二极管双t形交流电桥(4)脉冲宽度调制电路 特点:(1)转换电路生成频率信号,可远距离传输不受干扰。(2)具有较高的灵敏度,可以测量高至0.01μm级位移变化量。(3)但非线性较差,可通过鉴频器(频压转换)转化为电压信号后,进行补偿。运算放大器式电路运算放大器要求:特点:(1)解决了单个变极板间距离式电容传感器的非线性问题(2)要求zi及放大倍数足够大(3)为保证仪器精度,还要求电源电压的幅值和固定电容稳定(4)由于cx变化小,所以该电路实现起来困难(5)输入阻抗高(避免泄漏)、放大倍数大(接近理想放大器) 正负半周分析:正半周:c1充电,电流顺时针; c2放电,电流逆时针负半周: c2充电,电流逆时针; c1放电,电流顺时针若c1 = c2,则电流抵消,若c1 ≠c2,则rl有信号输出几点说明:(1)该电路电源频率mhz级,电源电压几十伏,电源的稳定性对输出直接产生影响。(2)当电容以pf级变化时,输出以v级变化。 如图: