电容式传感器可分为?

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  • 可以的。 电容传感器分为单极性和双极性的。单极性例如zcs1100,需要有一个平整的背板,将薄膜放在传感器探头与背板之间来测薄膜厚度。 双极性例如znxsensor,有正负两个电容极片,将薄膜放在两个极片之间来测厚度。 但是具体的测量方式还需要非常多的详细步骤。
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  • 可分为单探头电容传感器和多探头电容传感器:ZNXsensor,高精度
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  • 电容器由两个绝缘的同轴圆柱极板内电极和外电极组成根据被测参数的变化分:(1)变极距型电容传感器(d)(2)变面积型电容传感器(A)(3)变介质型电容传感器(ε)
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