问电容式传感器都能检测哪些物理量，检测微小变形通常用那种灵敏度高

变面积式电容传感器的灵敏度 = 电容变化量 ÷ 极板位移变化量1、当前电容c = 介电常数ε × [极板长a×(极板宽b－极板位移变化量)÷两极板间距d]其中，极板位移变化量是指在b方向上的变化2、电容变化量 = 最大总电容量c0－当前电容c根据1和2，可以推导出：灵敏度 = 电容变化量 ÷ 极板位移变化量 = －(ε × b ÷ d)三个数都是常数，所以灵敏度为常数。

电容位移传感器的测量对象材料必须有导电性，不一定是金属，比如水膜也是可以的。而且只需要很薄的一层导电材料就可以测了。以德国米铱capaNCDT举例，其绝对误差能达到0.1um， 分辨率静态能到0.0375nm。你指的灵敏度应该就是分辨率吧？