电容式传感器存在什么效应,会造成测量误差

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  • 可以的。电容传感器分为单极性和双极性的。单极性例如zcs1100,需要有一个平整的背板,将薄膜放在传感器探头与背板之间来测薄膜厚度。双极性例如znxsensor,有正负两个电容极片,将薄膜放在两个极片之间来测厚度。但是具体的测量方式还需要非常多的详细步骤。
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  • 电容式传感器大多存在压电效应,余震时间微秒级取决于测量精度误差,参考鑫亚图电子厂传感器余震参数,仅供参考
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