电容式传感器精度可以达到多少?

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  • 电容式传感器可以测薄膜的厚度,电容式传感器是一种非接触式传感器,电容两极之间的介质厚度会引起电容值的变化,电容式传感器测量厚度就是利用这一原理。
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  • 电容式传感器一般都是测量比较小的位移,精度都比较高。像真尚有公司的ZCS1100和ZNXsensor电容式传感器精度最高可以达到纳米级。
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