问KAMAN电涡流传感器磁场同步跟随式电磁悬浮微驱动器的微量位移测量，有人知道此测量时的应用背景是怎样的吗？

在超精密加工、微机电系统、生物工程等领域,迫切需要高精度的微运动系统,其核心部件微驱动器是当前研究的热点。在微运动具体实施过程中,对微运动系统驱动器要求的主要参数有:运动范围和运动精度、运动自由度、运动响应。基于磁场同步跟随的新型电磁悬浮式微驱动器，解决了悬浮驱动力与横向力相互耦合的问题，可实现高精度微运动。KAMAN电涡流传感器在微驱动器的设计制造阶段，对运动精度标定和验证是一个必要的环节。美国KAMAN电涡流传感器KD2306是KD2300的更新产品，KAMAN采用轨导DIN式结构。链条检测体系非常适合集成到OEM设备和工业控制应用中。KAMAN具备卓越的分辨率和速度性能（0.1um分辨率，50kHz高响应），满足各种实际需求，还可选择延长电缆、温度补偿等特殊需求。KAMAN电涡流传感器是一种非接触的线性化计量工具，具备卓越的分辨率和速度性能，满足各种实际需求