质量流量控制器由流量传感器、分流器通道、流量调节阀和放大控制电路等部件组成,质量流量计由流量传感器、分流器通道放大电路等部件组成。气体通过质量流量控制器(质量流量计)时,大部分气体通过分流器,少量气体流过流量传感器。流量传感器采用毛细管传热温差量热法原理,电桥将检测的流量信号转换为电信号。电信号经放大器放大为0~5vdc,放大后的流量检测电压与设定电压进行比较,再将比较后的差值电压放大后去驱动控制阀门,pid闭环控制,使流过通道的流量与设定的流量相等。质量流量控制器的流量控制范围通常为满量程的2%到100% 。