请问可以实现20~30torr的控制范围吗?就是真空度低于30torr就启动阀,低于20就关闭阀

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  • 你好!baidu如果对你有帮助,望采纳。
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  • 应该可以,不过你说得那个可能不行,可以考虑采用一个气体质量流量控制器,保持泵的抽速一定,这样通过调节流量来了解压力。如果在专业一些的话,可以考虑将压力传感器信号调制后,给气体质量流量控制器,形成闭环回路,可能能达到你要的控制效果
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