问高精度的纳米级位移传感器是怎么样的?能举例具体描述一下吗?

nxsensor 纳米级位移传感器是一种非接触式的电容位移传感器。其优势为纳米分辨率、零磁滞。znxsensor 电容传感器的两个传感器板形成一个平行板电容器。每个电容传感器可用在两个不用的测量范围。纳米级位移传感器主要特点：量程20～1250μm；分辨率<0.1nm；零磁滞；线性最高0.02%；频带可调：50～5000hz；灵敏度可调；真空兼容选项；

ZLDS/N-100是一款非接触式高精度纳米级位移传感器，具有100微米的量程和15纳米的分辨率。纳米级位移传感器的起始测量距离是3mm，对于被测体有较宽的适用范围，比如金属，半导体和玻璃。该传感器可以很容易与现有设计相接合，而且具有较大的基准距，纳米级位移传感器可以相当于一个高分辨率的电容传感器。对于定点测量，振动测量，表面轮廓测量，ZLDS/N-100纳米级位移传感器都是一款理想的测量工具。