分辨率为0.001μm=1nm的位移传感器,说实话,我不但没见过,听都没听说过,一般大面具的四象限位移传感器的分辨率做到0.2-0.5μm已经算是很不错了,单轴的位移传感器也只能做到小数点后两位(μm),你所说的位移传感器,我估计是不存在的。你可以去看看DL100-7,OD6-7这两款,一个是四象限的,一个是单轴的,精度在位移传感器里面来说做的算是很不错的,是德国Silicon Sensor的产品。另外,测纸板厚度我认为没有必要精确到1个nm,建议更改下思路,我手上有很多精密测量仪器的客户,目前来说,要求精度最高的就是10个nm.nm为单位以及更高的测量精确度,据我所知是无法靠器件来辨别的,都是靠高倍放大镜(显微镜)做的。供参考。