哪位高手知道分辨率为0.001μm的位移传感器

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  • 你好!利用差动变压器原理(LVDT)的位移传感器的分辨率为无穷。但是需要说明的是,这只是他的理论分辨率。测量精度是到不了这么高的。按照量程来说,基本上是小于1%的精度。希望对你有所帮助,望采纳。
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  • 光谱激光位移传感器,大约6万一台,进口的,可达到1nm精度
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  • 分辨率为0.001μm=1nm的位移传感器,说实话,我不但没见过,听都没听说过,一般大面具的四象限位移传感器的分辨率做到0.2-0.5μm已经算是很不错了,单轴的位移传感器也只能做到小数点后两位(μm),你所说的位移传感器,我估计是不存在的。你可以去看看DL100-7,OD6-7这两款,一个是四象限的,一个是单轴的,精度在位移传感器里面来说做的算是很不错的,是德国Silicon Sensor的产品。另外,测纸板厚度我认为没有必要精确到1个nm,建议更改下思路,我手上有很多精密测量仪器的客户,目前来说,要求精度最高的就是10个nm.nm为单位以及更高的测量精确度,据我所知是无法靠器件来辨别的,都是靠高倍放大镜(显微镜)做的。供参考。
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