问5． 高精度电涡流传感器的精度能达到多少？可以到纳米级么？

电涡流精度一般是微米级别的。eddyncdt系列有绝对误差达到0.8um的探头。纳米级别，如果应用允许的话，还是要选电容类型的精度更高。

测量厚度？还是其它？纳米级应该不是电涡流传感器能达到的，无论是测厚度、面积、体积都不行。 当测量达到纳米级，温度等各影响参数就都成为问题，被测量件的温度是一定要被测量的；被测表面的粗糙度应该也是有规定的。我想，在不考虑其它条件是否成立时，测量可能可以达到，但实际运用可能因为要求条件过高会难以达到。