问薄膜晶体管的介绍

tft是在基板 (如是应用在液晶显示器，则基板大多使用玻璃) 上沉积一层薄膜当做通道区。大部份的tft是使用氢化非晶硅 (a-si:h) 当主要材料，因为它的能阶小于单晶硅 (eg =1.12ev)，也因为使用a-si:h当主要材料，所以tft大多不是透明的。另外，tft常在介电、电极及内部接线使用铟锡氧化物 (ito) ，ito则是透明的材料。因为tft基板不能忍受高的退火温度，所以全部的沉积制程必须在相对低温下进行。如化学气相沉积、物理气相沉积 (大多使用溅镀技术) 都是常使用的沉积制程。如要制作透明的tft，第一个被研究出来的方法是使用氧化锌材料，此项技术由奥勒岗州立大学的研究员于2003年时发表。很多人都知道薄膜晶体管主要的应用是tft lcd，液晶显示器技术的一种。晶体管被作在面板里，这样可以减少各pixel间的互相干扰并增画面稳定度。大略是从2004年开始，大部份便宜的彩色lcd屏幕都是使用tft技术的。连在乳线和癌症x-ray检查的数位x-ray摄影技术上也很常使用tft面板。新的amoled (主动阵列oled) 屏幕也内建了tft层。

《薄膜晶体管》是是场效应晶体管的种类之一，大略的制作方式是在基板上沉积各种不同的薄膜，如半导体主动层、介电层和金属电极层。薄膜晶体管对显示器件的工作性能具有十分重要的作用.