问扩散硅压力传感器的工作原理

被测介质的压力直接作用于传感器的膜片上（不锈钢或陶瓷），使膜片产生与介质压力成正比的微位移，使传感器的电阻值发生变化，应用电子线路检测这一变化，并转换输出一个对应于这一压力的标准测量信号（通常为电压信号）。 所谓的扩散硅，就是通过工艺技术处理的掺杂硅基。 虽然天天在用，但原理不太清楚。上述是我的理解，你自己找些有关书籍看看吧。