问急，快速成型机模型的清洗液的成分谁知道

一种晶圆的清洗液成分及其清洗方法，清洗液成分包含有第一酸、氧化剂、第二酸及去离子水，第一酸用以移除残留于硅晶圆表面的铜金属；氧化剂用以氧化硅晶圆表面形成一浅氧化层，并氧化残留于硅晶圆边缘的阻障金属；第二酸用以移除浅氧化层以及残留于硅晶圆边缘的氧化阻障金属。具有洗去或溶解晶圆表面上的铜残留，并移除穿透晶圆表面而固着于晶圆浅表面内的铜原子及有效去除残留于晶圆边缘的铜原子以及TaN等阻障金属的功效。