问压电薄膜都有什么材料的

压电材料有三种：压电晶体，压电陶瓷，有机压电材料。压电晶体最有代表性的就是石英晶体，绝缘好，机械强度大，居里点高，但压电系数小，所以只用作校准用的标准传感器，或是要求精度很高的传感器。 压电陶瓷应用范围很广，灵敏度好，但相对石英晶体则机械强度低，居里点底。有机压电材料通常都是高分子材料构成的，压电系数高，灵敏度高，多用于医学等高精尖科学。

现在最常用的压电薄膜有AlN ZnO PZT 各有优缺点吧 其中AlN声速高、热导率高、损耗低、可以与CMOS工艺兼容，因此比较利于实现声表面波器件的高频化、高功率化、高集成化，是潜力材料。现在的问题就是相比于ZnO PZT 压电系数偏低