供应精密步进投影数字光刻机

描述

    精密步进投影数字光刻机无掩模光刻机无掩膜光刻机 型号 DS-2000/1.0型1．技术特征 采用DMD作为数字掩模，像素1024×768 采用1倍缩小投影光刻物镜成像，一次曝光面积约14mm×10mm 采用专利技术——积木错位蝇眼透镜实现均明。 采用进口精密光栅、进口电机、进口导轨、进口丝杠实现精确工件定位和曝光拼接，可适应100mm×100mm基片。2．技术参数 光源：350W球形汞灯（曝光谱线： i线）； 照明均匀性：±2%； 物镜倍率：1倍 曝光场面积：14mm×10mm 光刻分辨力：14μm 工件台运动范围：X：100mm、 Y：100mm； 工件台运动定位精度：±1.5μm； 调焦台运动灵敏度：1μm； 调焦台运动行程：6mm 转动台行程：±6°以上 基片尺寸外径: Ф15mm—Ф100mm，厚度：0.1mm--5mm 3．外形尺寸：840mm（长）×450mm(宽) ×830mm（高）无掩模光刻机系统关键技术• 曝光光学系统• 光匀化技术• 图形发生器• 投影物镜• 对焦系统• 对准系统• 精密工件台• 步进拼接• 控制软件