电容位移传感器

　　电容位移传感器是一种非接触电容式原理的精密测量仪器，具有一般非接触式仪器所共有的无磨擦、无损磨和无惰性特点外，还具有信噪比大，灵敏度高，零漂小，频响宽，非线性小，精度稳定性好，抗电磁干扰能力强和使用操作方便等优点。在国内研究所，高等院校、工厂和军工部门得到广泛应用，成为科研、教学和生产中一种不可缺少的测试仪器。主要类型为ZCS1100型、ZNXsensor型、FWS-CⅡ型、FW-C1型。^[1]

　　1.旋转轴的径向跳动，轴向窜动和回转精度;

　　2.往复机构的运动特性和重复定位精度;3.正弦波激振和脉激振中振动测量;

　　4.机器零部件相对振动相对变形;

　　5.盘类零件的端面振摆;

　　6.轴承间隙和油膜厚度;

　　7.检测零部件尺寸和平直度;

　　8.线切割机床电极丝的振动;

　　9.机床主轴热位移与动态加载试验测量;

　　10.也可用于金属导体之外的绝缘物体(如大理石、塑料、砂轮、玻璃、陶瓷等)的振动、位移测量。

电容位移传感器

　　量 程：初始间隙δo与传感器电极板do

　　分 辨 率：0.01nm 零磁滞

　　非 线 性：±0.25%FSO

　　频带可调：50～5000Hz

　　灵敏度可调：5～125μm/V

　　输出信号：0—±5.0V

　　零 漂：≤±0.25%FSO

　　电 源：±15V

　　体 积：19cm×12cm×8cm

　　优点

　　电容位移传感器能实现无接触测量。它采用合适的检测电路，做到灵敏度高、分辨力强、能分辨微小的位移。还有信噪比大，灵敏度高，零漂小，频响宽，非线性小，精度稳定性好，抗电磁干扰能力强和使用操作方便。

　　缺点

　　电容位移传感器的量程比较小，一般只有几十个毫米，容易受外界干扰和分布参数的影响。

　　注意事项：1.本仪器属精密测量仪器，固定传感器支架要有足够的刚性，传感器调整好，让其稳定一段时间，消除支架的机械蠕变再开始测量。

　　2.测量过程中尽量不要挪动传感器的联接电缆，使电缆自然放置。